RAID 5 也稱為「同位檢查」，它是偵測錯誤的方式，可用來透過執行等量分割中資料區塊的特定檢查，來在資料傳輸過程中偵測並修正錯誤。 在發生單一磁碟機失敗時，能以檢查剩餘資料與同位資訊的方式，為遺失的磁碟機或媒體重建資料。 此資訊可讓系統重新產生遺失的資料位元。
RAID 5 整合資料等量分割。 RAID 5 陣列使用三部以上的磁碟機，將資料和同位檢查等量分割至所有磁碟機。 資料會在兩個磁碟機上處理，而第三個磁碟機會保留同位檢查資訊。 若損失其中一個資料磁碟，同位檢查資訊會確保損失資料可以重建。
RAID 5 能兼顧良好效能、容錯、高容量和儲存效率。 因為系統在寫入活動時須要計算同位檢查資訊，因此在讀取活動量遠高於寫入活動量的情況下，RAID 5 將最為適用。 (若寫入活動量較高，那麼 RAID 1 會是較好的選擇)。
RAID 5 會增加媒體的虛擬容量，因為虛擬磁碟機是由三部磁碟機所構成。 例如，如果您的媒體容量有 2 GB，正常情況下，您會需要兩個擴展磁帶來備份 4 GB。 但若使用 RAID 5，即可在一部虛擬媒體上儲存相同的 4 GB 而無需擴展。 如果您使用三部採用 RAID 5 的磁碟機，將可以增加雙倍的儲存容量。 如果您使用五部採用 RAID 5 的磁碟機，將可以增加四倍的儲存容量。
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